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        高新產業中真空泵的前景


        現在真空行業中,無油、清潔度好、真空度高的無油真空泵越來越多的受到各行業的關注。我國在此工藝中的發展還剛剛起步,需要不斷的實踐。
        如日本的真空工業,其中70%以上是用于半導體和液晶顯示(LCD)產業,一般傳統的真空系統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求,因此,日本干式真空泵中分子泵、低溫泵發展得很快。目前真空獲得產品已經出現更新換代的局面,大量的有油真空系統己被無油清潔的真空系統所代替。
        從目前我國各類真空泵的市場份額和趨勢可以看出,由于我國的真空工業的絕大部分是集中在一般傳統的真空應用方面,所以高真空系統仍然以擴散泵為主,低真空和前級真空則以旋片式真空泵、滑閥泵為主。渦輪分子泵目前產最亦不大,大型的或復合型分子泵尚未形成批量生產,至于低溫泵和各種類型的干式真空泵等則剛剛起步,無法滿足半導體工業、LCD產業發展的需要。


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